1. বিশুদ্ধতা
স্পটারিং লক্ষ্যমাত্রার বিশুদ্ধতা কমপক্ষে 99.95 শতাংশ হতে হবে। উচ্চতর বিশুদ্ধতা, sputtered ফিল্মের কর্মক্ষমতা ভাল.
2. ঘনত্ব
স্পুটারিং লক্ষ্যের আপেক্ষিক ঘনত্ব 98 শতাংশের বেশি হওয়া উচিত। উচ্চ ঘনত্বের লক্ষ্যমাত্রা আবরণ প্রক্রিয়া চলাকালীন ফিল্মের কণার স্প্ল্যাশিং কমাতে পারে, এইভাবে ফিল্মের গুণমান উন্নত করে।
3. শস্য গঠন
মলিবডেনাম sputtering লক্ষ্য একটি polycrystalline গঠন. স্পটারিংয়ের সময়, লক্ষ্য পরমাণুগুলি ষড়ভুজ পরমাণুর সবচেয়ে ঘনিষ্ঠভাবে সাজানো দিক বরাবর সহজেই ছিটকে যায়। সর্বোচ্চ স্পটারিং রেট অর্জন করার জন্য, লক্ষ্যের স্ফটিক গঠন পরিবর্তন করে স্পাটারিং রেট বাড়ানো প্রয়োজন।
4. শস্য আকার
শস্যের আকার মাইক্রোন থেকে মিলিমিটার পর্যন্ত হতে পারে। সূক্ষ্ম শস্যের সাথে লক্ষ্যের স্পুটারিং হার মোটা শস্যের লক্ষ্যের চেয়ে দ্রুত, এবং জমাকৃত ফিল্মের পুরুত্ব বন্টনও ছোট শস্যের আকারের পার্থক্যের সাথে লক্ষ্যের জন্য তুলনামূলকভাবে অভিন্ন।
5. লক্ষ্য এবং চ্যাসিস বাঁধাই
স্পুটারিং করার আগে, লক্ষ্যটি অক্সিজেন-মুক্ত কপার চ্যাসিসের সাথে সংযুক্ত করা উচিত যাতে লক্ষ্য এবং চ্যাসিসের মধ্যে তাপ পরিবাহিতা ভাল থাকে। বাঁধাই করার পরে, অতিস্বনক পরিদর্শন করা হবে যাতে দুটির নন-বাইন্ডিং এরিয়া 2 শতাংশের কম হয় তা নিশ্চিত করতে, যাতে উচ্চ-শক্তির স্পটারিংয়ের প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করা যায়।
